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精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定做廠家

代工各類(lèi)精密直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、半導(dǎo)體及檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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  • 直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
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xy軸精密定位平臺(tái)

  • 一般環(huán)境使用
  • xy軸精密大理石直線電機(jī)定位平臺(tái),采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測(cè)精度0.1um,多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測(cè)。

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    重復(fù)定位精度:±0.001mm
    絕對(duì)定位精度:±0.004mm
    XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm
    非標(biāo)定制產(chǎn)品,配置價(jià)格請(qǐng)咨詢!
    *絕對(duì)定位精度需通過(guò)軟件修正。

    Tips:絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。

直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)


XYZ三軸高精密大理石直線電機(jī)平臺(tái),采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測(cè)精度0.1um,多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等各種高精密制造檢測(cè)。


XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(客戶定制)

重復(fù)定位精度:±0.001mm

絕對(duì)定位精度:±0.004mm

應(yīng)用行業(yè):晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光3D熔覆加工等;

*絕對(duì)定位精度需通過(guò)軟件修正。

*Z軸采用直線電機(jī)配恒力彈性裝置,保證Z軸斷電保護(hù)。